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什么是“金属薄膜压力传感器”?
发布时间:2021-08-23        浏览次数:70        返回列表
       传感器基体由不锈钢制成,电阻结构采用光刻技术生产。薄膜测量芯体能够有效耐受峰值压力和爆破压力,因而从同类产品中脱颖而出。即便是 高的压力,甚至在高冲击和高振动载荷下,也能可靠测量。在金属薄膜技术中,四个电阻彼此连接,形成惠斯通电桥。膜片在受压时,中央区域会产生 大应变,边缘区域则形成 大压缩力,二者同时作用于电阻。在薄膜芯体中,测量膜片同时也起到隔离介质的作用。该技术无需内部导压流体。 般而言,薄膜技术仅用于表压测量,这是因为在薄膜背面形成真空需要较为复杂的结构设计。